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リニアポジショニングステージ DS30圧電単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, 小型, 真空対応
- ストローク
8 mm
(0.315 in)- 速度
1.2 mm/s
- 積載量
32 g
(1.13 oz)
詳細
10^(-6)mbarまでの高真空条件用
特にフラットなハウジング（高さ10mm）
ピエゾ式電気慣性駆動の小型並進ステージ。DS 30の真空バージョン。
技術データ
幅 - 30 mm
高さ - 10 mm
奥行き - 30 mm
最大荷重
モーメンタム (Mx) - 5 Ncm
モーメンタム (My) - 5 Ncm
モーメンタム (Mz) - 5 Ncm
ブロック力 (Fx) - 4.5 N
支持力（Fy, Fz） - 30 N
誘導精度
ヨー角 - 20 arc sec
ピッチ角 - 60 arc sec
垂直偏差 - 1 um
横方向偏差 - 2 um
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