リニアポジショニングステージ DS30

圧電手動式単軸

フットプリント30 x 30 mmで8 mmの移動量 クローズドハウジング 特にフラットなハウジング（高さ10mm） ピエゾ電気慣性駆動による小型並進ステージ。 技術データ 幅 - 30 mm 高さ - 10 mm 深さ - 30 mm 速度 - 1.2 mm/s 最大荷重 モーメンタム (Mx) - 5 Ncm モーメンタム（My） - 5 Ncm モーメンタム（Mz）- 5 Ncm ブロック力 (Fx) - 4.5 N ベアリング力（Fy, Fz） - 30 N 誘導精度 ヨー角 - 20 arc sec ピッチ角 - 60 arc sec 垂直方向偏差 - 1 um 横方向偏差 - 2 um