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... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF3232-x.60は、X方向に60μmのスキャン範囲を提供します。重量は30 gと非常に軽く、32 x 32 x 12 mmと非常にコンパクトです。 仕様 スキャン範囲 [μm] - > 60 最大法線力 [N] - 5.0 寸法 [mm] - 32 x 32 x 12 重量 [g] - 30 材質 ベース素材 - チタン(-TI) ...
... SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF5252-x.200は、X方向に200μm以上のスキャン範囲を提供します。重量は90 gと非常に軽く、52 x 52 x 15 mmと非常にコンパクトです。 仕様 スキャン範囲 [μm] - > 200 最大法線力 [N] - 5.0 寸法[mm] - 52 x 52 x 15 重量 [g] - 90 材質 ベース素材 - チタン(-TI) ...
ストローク: 400, 600, 800 µm
速度: 8, 9, 10 m/s
繰返し精度: 3 nm
... 最高の位置決め性能とZスタック間の最速リカバリを提供するナノスキャン-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタプレートを使用することで、多くの一般的な顕微鏡と同様にPrior電動ステージと互換性があります。高さ13.7mmの超薄型ステージは、400umおよび600umのクローズドループステージの特徴で、サンプルエリアの照明に適したアクセスを提供します。ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応するアクセサリーインサートプレートが用意されています。 ...
ストローク: 1 mm
... DSMのナノ位置決め圧電 ZSA-1000Cステージは、走査、計測、検査プロセスにおいて、1mmの垂直移動範囲にわたって屈曲誘導運動を特長としています。 安定性と剛性の高いキネマティック設計は、最小限のロールとチルトで出力モーションの並列性を促進し、動的な応答性を実現し、優れた位置安定性と制御を実現します。 この段はDSMのSA-500と組み合わせることで、クローズドループ制御に高分解能の静電容量式プローブを使用して、指定されたスキャン領域で20nmの位置安定性と非常に安定した速度プロファイルを提供できます。 ...
ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 5 mm/s
繰返し精度: 0.015 µm - 0.02 µm
... LA97 - 真空リニアステージ・軸 ナノメータリニアステージ HV / UHV 最大 10E-11、移動量 100 - 300 mm、繰り返し精度 0.02 µm、最大荷重 10 kg - 真空：全領域 HV / UHV 最大10E-11 mbar - 潤滑：液体 10E-8 mbar まで / 乾燥 10E-11 mbar まで - 最高温度ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式を採用 - ...