リニアポジショニングステージ KT105

圧電2軸精密

KT105-50 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーとピッチのパラメーターがアパーター付きより3倍優れている。 - 真空度：全領域HV/UHV 最大10-11mbar - 磁性：磁性｜低磁性｜マグネットフリー - 潤滑: 液体 10-8 / ドライ 10-11 mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C オプション - 開口部付きと開口部なし - マグネット式、低磁力式、マグネットフリー式があります。 - 様々なモーターバリエーションナノモーションまたはピエゾモーター - XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：50 mm - 繰り返し精度 ± 0.3μm、±0.5μm（一方向） ± 0.4 µm、± 0.7 µm（双方向 - 荷重： → 5 N, 4N / ↑ 45 N - 最大速度： 10/50 mm/s - モーターピエゾモーター / ナノモーション - ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでフルセラミック - フィードバックリニアスケール - フィードバック分解能 0.001 µm - 0.1 µm