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- リニアポジショニングステージ
- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ HDT255電動単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, -翻訳中-, 産業用, 真空対応, ウェハー運搬用, 開ループ, クロスローラー
- ストローク
最大: 16 mm
(0.63 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最大: 16.6 mm/s
最少: 1 mm/s
- 繰返し精度
最大: 5 µm
最少: 0.7 µm
- 積載量
最大: 9.8 kg
(21.61 lb)最少: 0.5 kg
(1.1 lb)
詳細
HDT255
高荷重開口リフティングテーブル
用途：真空リフティングステージ
利点：-高剛性、高荷重、開口部
特徴：開口部付きウェッジステージ
- 真空度：全レンジ HV / UHV / EUV 最大10E-11 mbar
- 潤滑液：10E-8/ドライ 10E-11 mbarまで
- 磁性: 磁気
- 最大ベークアウト温度120°C
オプション
- 開口部の有無
- さまざまな移動
- 測定システム付き/なしオプション
- クリーンルームISO 14644-1対応（ご要望によりクラス1まで対応可能）
- アプリケーションに合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- コントローラーFMC400/450（オプション
技術データ
- トラベル: 16 mm
- 繰返し精度： -
±2.9μm、±0.7μm（一方向）
± 4 µm、± 1 µm（両方向）
- 荷重： 98 N
- 最大速度： 16.6 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能： 0.1 µm
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