リニアポジショニングステージ KDT120

圧電2軸精密

KDT120-20 高分解能XYステージ 用途：真空XYステージ 利点：高速、高分解能 特徴：ヨーおよびピッチのパラメータが、アパーチャー付きのバリアントよりも3倍優れています。 - 真空度：HV/UHV/EUVの全レンジ、10E-11mbarまで - 潤滑: 液体 10E-8 / ドライ 10E-11 mbarまで - 磁性: 磁性 / 低磁性 / マグネットフリー - 最大ベークアウト温度120°C オプション - 開口部付きと開口部なし - マグネット式、低磁力式、マグネットフリー式があります。 - 様々なモーターバリエーションナノモーションまたはピエゾモーター - XYZ位置決めシステム（MT105など）と組み合わせ可能 - 回転アプリケーション用の回転ステージ（DT105など）と組み合わせ可能 - コントローラ FMC400/450 をオプションで提供 技術データ - トラベル：24 mm - 繰返し精度： - 0.03 ± 0.03 µm (一方向) - - ± 0.05 µm (双方向) ± 0.05 µm (双方向) - 荷重： → 5 N / ↑ 45 N - 最大速度： - 5 mm/s - モーターピエゾモーター - ベアリング: クロスローラーベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでフルセラミック - フィードバックリニアスケール - フィードバック分解能 0.005 µm - 0.1 µm