リニアポジショニングステージ LA95

電動単軸精密

LA95 - 用途：搬送ステージ、スキャニングステージ - 利点：ドライ潤滑にもかかわらず高寿命 - 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは ボールスクリュー - 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲 - 磁性: 磁気 - 潤滑： 液体潤滑（10E-8まで）/乾式潤滑（10E-11mbarまで - 最高ベークアウト温度120°C 技術データ - トラベル：40mm、80mm、185mm - 繰り返し精度 ± 1.9μm、±0.4μm（一方向） ± 2.9 µm、± 0.5 µm（双方向） - 荷重： → 45 N / ↑ 40 N - 最大速度： 8.4 mm/s - モーターステッピングモーター - ベアリング: クロスローラベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでセラミック - フィードバックリニアスケール、オープンループ - フィードバック分解能 0.001 µm - 0.1 µm