LA95
- 用途:搬送ステージ、スキャニングステージ
- 利点:ドライ潤滑にもかかわらず高寿命
- 特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは
ボールスクリュー
- 真空: 10E-9 mbarまでのHV/UHVの全圧力範囲
- 磁性: 磁気
- 潤滑: 液体潤滑(10E-8まで)/乾式潤滑(10E-11mbarまで
- 最高ベークアウト温度120°C
技術データ
- トラベル:40mm、80mm、185mm
- 繰り返し精度
± 1.9μm、±0.4μm(一方向)
± 2.9 µm、± 0.5 µm(双方向)
- 荷重: → 45 N / ↑ 40 N
- 最大速度: 8.4 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリング: クロスローラベアリング ステンレススチール、ハイブリッド、オプションでセラミック
- フィードバックリニアスケール、オープンループ
- フィードバック分解能 0.001 µm - 0.1 µm
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