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- Steinmeyer Holding GmbH
リニアポジショニングステージ LA170リニアモータ駆動単軸クロスローラー
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- リニアモータ駆動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, 産業用, クロスローラー
- ストローク
最少: 1 mm
(0.039 in)最大: 130 mm
(5.118 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最大: 10 mm/s
- 繰返し精度
最少: 0.4 µm
最大: 5 µm
- 積載量
最少: 19.6 kg
(43.21 lb)最大: 19.6 kg
(43.21 lb)
詳細
LA170
高精度高負荷XYZ直線軸
アプリケーション搬送ステージ、高荷重用スキャニングステージ
利点：乾式潤滑にもかかわらず高寿命
特徴: ドライ潤滑油付きリードスクリューまたは液体潤滑油付きボールスクリュー
- 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応
- 磁性: 磁気
- 潤滑: 液体 10E-8 / 乾式 10E-11 mbarまで
- 最高ベークアウト温度120°C
オプション
- 用途に合わせた材料選択と真空潤滑
- チャンバー内の設置状況に個別に対応
- クリーンルームISO 14644-1用バージョン（ご要望によりクラス1まで対応可能）
- コントローラー FMC400/450 オプション
技術データ
- トラベル: 60 mm - 130 mm
- 繰り返し精度
± 2.8μm、±0.4μm（一方向）
± 4 µm、± 0.5 µm（双方向）
- 荷重： → 196 N / ↑ 196 N
- 最大速度: 10 mm/s
- モーターステッピングモーター
- ベアリング: クロスローラベアリング、ステンレススチール、ハイブリッド
- フィードバックリニアスケール
- フィードバック分解能： ± 0.1 µm
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