回転ポジショニングステージ XRT-A

圧電高精度サブミクロン精度

XRT-Aは、スティックスリップピエゾモータによって駆動されます。 XRT-Aの特許取得済みのベアリング技術により、回転中でもラジアル誤差の動きをナノメートルレベルまで積極的に補償することができます。 これにより、XRT-Aはユニークで、市場で最も正確なピエゾ回転ステージになります。 500nm 未満の半径方向誤差動作により、XRT-Aは加圧された空気と大容量を必要とせず、有利な価格で空気軸受の精度を実現します。 その結果、XRT-Aは、圧度回転が必要な真空および磁気アプリケーションに最適なソリューションです。