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XYZ軸ポジショニングステージ
圧電真空対応

XYZ軸ポジショニングステージ
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特徴

方向
XYZ軸
その他の特徴
真空対応
ストローク

10 mm, 13 mm
(0.394 in, 0.512 in)

詳細

XYZ ピエゾステージ ピエゾモータ駆動 トラベル 13 x 13 x 10 mm UHV 対応

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