リニアポジショニングステージ Q-545 Q‑Motion® series

圧電単軸精密

- 幅わずか45mm - 駆動力 7 N - ナノメートルの位置分解能を持つインクリメンタルセンサー - アダプタープレートなしのXYコンビネーションが可能 圧電慣性駆動 圧電慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格の圧電ベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正されたノコギリ波電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーターはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性により、ランナーはアクチュエータの高速収縮に追従できず、その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニアステージには非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニクス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験