リニアポジショニングステージ U-523 PILine®

圧電単軸コンパクト

- 省スペース・軽量 - 高いガイド精度 - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級リニア位置決めステージ PILine®ステージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブがステージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチにより、信頼性の高い繰り返し動作が可能です。ピエゾモーターの駆動原理と電気的動作は安価で、カスタマイズが可能です。 PILine® 超音波ピエゾモータ PILine®超音波ピエゾモータの不可欠な部分は、カップリングエレメントを介して可動ガイドランナーに対してプリロードされるピエゾアクチュエータです。ピエゾアクチュエータは、100～200 kHzの高周波交流電圧により超音波振動します。アクチュエータの変形は、ランナーに対するカップリング・エレメントの周期的な斜め運動につながる。発生する送り速度は1サイクルあたり数ナノメートルであり、高い周波数が高い速度につながる。ピエゾセラミックアクチュエーターをランナーに対して予圧することで、静止時およびスイッチオフ時の駆動部のセルフロックが保証される。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式エンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。