XY軸ポジショニングステージ M-11 series

XYZ軸電動閉ループ

- 10-6 hPaまでの真空に対応 - 折りたたみ式で非常にコンパクト - 非接触リファレンスとリミットスイッチ コンパクトなリニアステージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式駆動でコンパクトなリニアステージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 駆動方式 - バックラッシュ補正リードスクリュー 応用分野 真空チャンバー研究用ビームライン装置顕微鏡電子機器の組立および検査 真空環境での使用に適した低アウトガス性 ガイドとドライブスクリューの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。そのため、ベークアウト温度は最高80℃に達します。PI V6真空クラスは、これとその他の改良により、10-6 hPaまで使用できます。 位置測定 - モーターシャフト上のロータリーエンコーダ - 非接触ホール効果リファレンスとリミットスイッチ