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XY軸ポジショニングステージ M-11 seriesXYZ軸電動コンパクト
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特徴
- 方向
- XY軸, XYZ軸
- タイプ
- 電動
- その他の特徴
- コンパクト, 閉ループ, 真空対応
- ストローク
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s
- 繰返し精度
0.25 µm, 2 µm
詳細
10-6 hPaまでの真空に対応
折りたたみ式で非常にコンパクト
クローズドループDCモーター
非接触式リファレンススイッチとリミットスイッチ
XYセットアップを直接取り付け可能
コンパクトなリニアステージ、多目的に使用可能
ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニアステージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。
特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。
ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI V6真空クラスのこの他の改良により、このポジショナーは10-6hPaまで使用できます。
駆動
クローズドループDCギアモーター
バックラッシュ補正付きネジスピンドル
位置測定
モーターシャフト上のロータリーエンコーダ
非接触ホール効果リファレンスとリミットスイッチ
応用分野
真空チャンバー研究ビームライン装置顕微鏡電子機器の組立および検査
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