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トランスレーションポジショニングステージ
M-122.2DD1
電動式
単軸
精密
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特徴
方向
トランスレーション
タイプ
電動式
軸の数
単軸
その他の特徴
精密, コンパクト, 小型, 高速, 内蔵型エンコーダー付き, ボールねじ
ストローク
25 mm
(0.984 in)
速度
0.02 m/s
(0.07 ft/s)
繰返し精度
0.15 µm, 0.2 µm, 1 µm
詳細
- 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小インクリメンタルモーション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメーション
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カタログ
Precision Positioning and Motion Control
297 ページ
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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