回転ポジショニングステージ Q-632 Q‑Motion®

圧電コンパクト真空対応

- 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのインクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのインクリメンタルモーション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーターはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。慣性のため、ランナーはアクチュエータの高速収縮に追従できず、その位置に留まります。ランナーに直接作用する駆動部は、最大速度45°/s、動作周波数0.45°/s、動作周波数は最大20 kHzです。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニクス光アライメント顕微鏡検査ビームライン装置半導体技術試験