ロングレース用ポジショニングステージ MLL-400

XY軸電磁駆動ダイレクトドライブ

SMARSHIFT MLL-400は、2つの移動オプションを備えた電磁ダイレクトドライブXYステージです。最初のオプションは、最大300 mmの大きな移動範囲を提供します。もう1つは、精度を高めるために移動範囲を200mmに抑えたものです。どちらのバージョンも、25mm×25mmグリッドの標準光学ブレッドボードに取り付けることができます。 MLL-400は、電磁トリポッドのベースとしても使用できます。 アプリケーション MLL-400は、マイクロアセンブリ、ピックアンドプレースプロセス、ワークアライメントなど、工業生産における要求の厳しい作業向けに特別に設計されています。その他の用途としては、高精度積層造形、ウェハ位置決め、レーザー加工などがあります。 仕様 連続荷重 [N] - 6 ピーク荷重 [N] - 18 最大常用力 [N] - 200 可動質量[g] - 12000（下軸）、6000（上軸） 外形寸法[mm] - 400 × 400 × 70 質量 [g] - 21000 材質 ベース素材 - アルミニウム、黒アルマイト処理 クローズドループ センサータイプ - SC 最大最大加速度（無負荷時）[m/s²] - 1（下軸）; 2.5（上軸） インポジション安定度 [nm] - ±5 センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 一方向リピータビリティ MCS2 [nm] - 150｜100