リニアポジショニングステージ SLC-2430
圧電単軸閉ループ

リニアポジショニングステージ
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特徴

方向
リニア
軸の数
単軸
その他の特徴
高精度, -翻訳中-, 真空対応, 閉ループ, 非磁性
ストローク

16 mm
(0.63 in)

速度

20 mm/s

繰返し精度

40 nm, 200 nm

詳細

SLC-2430の寸法は30×24×10.5mmで、移動範囲は16mm、法線方向の力は30Nとなっています。 なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料は、S-positionセンサを搭載した大気圧またはHV環境用のSLC-2430の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社の営業チームにお問い合わせください。また、高性能なクローズドループ型の極低温タイプもご用意しています。 メカニカル ブロッキングフォース [N]≧ 3.5 マックス。法線力 [N]20 最大リフト力 [N]1.5 寸法 [mm]30 x 24 x 10.5 重量 [g]36 オープンループ 分解能 [nm]<1 オプション 材質オプション アルミベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、黒アルマイト(-BK 機械的オプション 高剛性のU字型ベース(-W)で幅が30mmに拡大 性能オプション ブロッキングフォースの向上(-D)。+1.5 N クライオジェニックオプション はい

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カタログ

Catalog 22
Catalog 22
182 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。