上の写真は、245mmレールのCLL-12クローズドループステージです。160mmのトラベルと交換可能なドライブユニットが特徴です。
CLL12シリーズのリニアステージは循環ボールスライドをベースにしています。スライドまたはキャリッジと長さの異なるレールを組み合わせることで、限られたスペース内で正確な長距離位置決めまたは大きな移動範囲のいずれにも最適なソリューションとなります。CLL12ステージは当社のどの制御システムでも操作できます。また、複数のキャリッジを同じレール上に設置し、独立して移動させることで、完全にモーター駆動された光学ベンチのセットアップを行うことも可能です。CLL42は交換可能なスマーアクトドライブユニットを装備しており、ステージの中核部品であるピエゾドライブへの容易なアクセスを保証します。これにより、メンテナンスが非常に簡単になります。
メカニカル
ブロック力 [N] - ≥ 3
最大ノーマルフォース [N] - 30
最大リフト力 [N] - 1
寸法 [mm] - 27 x 13(オープンループキャリッジ)、27 x 85(クローズドループキャリッジ)
重量 [g] - 長さによる
開ループ
開ループ分解能 [nm] - < 1
- クローズドループ
センサー分解能 MCS2 [nm] - 1 (S), 4 (L)
- オプション
材質オプション - マルチキャリッジ、ザグリ穴、タップ穴(M4)
真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
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