リニアポジショニングステージ PLF3232-xy.60

XY軸圧電2軸

SMARFLEXナノポジショニングスキャナステージは、ピエゾ駆動メカニカルフレクシャの利点を活かし、数100μmまでの高精度位置決めタスクを実現します。 PLF3232-xy.60は、XおよびY方向に60μmのスキャン範囲を提供します。重量は45 gと非常に軽く、32 x 32 x 20 mmと非常にコンパクトです。PLF3232-x.60は、2台のPLF3232-x.60スキャナを1台に統合したもので、高さは低くなっていますが、性能は同じです。 このサイズとホールパターンにより、CLS-3232のような他のリニアステージやポジショナーに理想的にフィットし、長い移動範囲と高精度を実現します。 仕様 スキャン範囲 [µm] - > 60 最大法線力 [N] - 5 寸法 [mm] - 32 x 32 x 20 重量 [g] - 45 材質 ベース素材 - チタン(-TI) / アルミニウムベース(-Al) オープン・ループ オープンループ分解能 MCS2 [nm] - MCS2: <1 クローズドループ センサー分解能 MCS2 [nm] - MCS2: 1 (S) オプション 真空オプション - HV (10-⁶mbar) 非磁性オプション - あり (- NM)