SLC-2460の寸法は60 x 24 x 10.5mmで、移動範囲は35mm、法線力は30Nです。
このリニアピエゾステージのダウンロード可能な資料は、S位置センサーを装備した大気圧またはHV環境用のSLC-2460の寸法と仕様を示しています。UHV対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションに関する技術図面や詳細仕様については、弊社営業チームまでお問い合わせください。
高性能クローズドループ極低温仕様もあります。
ブロッキング力 [N]≥ 3.5
最大法線力 [N]30
最大揚力 [N]1.5リフト力 [N]1.5
外形寸法 [mm]60×24×10.5
重量 [g]72
開ループ
分解能 [nm]< 1
オプション
材質オプション アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK
機械的オプション 機械的強度を高めるU字型ベース(-W):幅が6mm拡大、ケージクリープフリーガイドウェイ(-Z)
性能オプション 高いブロック力(-D):+1.5 N
極低温オプション
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