寸法30×17×8.5mm、移動範囲21mm、常用荷重20Nのスモールナノメートル精密リニアステージSLC-1730。
なお、このリニアピエゾステージのダウンロード資料には、S-ポジションセンサーを搭載した大気圧またはHV環境用の1730の寸法と仕様が記載されています。超高真空対応ステージ、より高い阻止力を持つステージ、その他のセンサーオプションなど、その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については、当社のセールスチームにお問い合わせください。
メカニカル
ブロッキングフォース [N] - ≥ 3.5
最大垂直方向の力 [N] - 20
最大揚力 [N] - > 1.5
寸法 [mm] - 30 x 17 x 8.5
重量 [g] - 20
オープンループ
分解能 [nm] - < 1
オプション
材質オプション - アルミニウムベース(標準)、スチールベース(-ST)、チタンベース(-TI)、ブラックアルマイト(-BK
機械的オプション - U字型ベースによる機械的強度の向上(-W)、幅を23 mmに拡大、寿命の向上(-Z)。
性能オプション - ブロッキング力の向上(-D)+1.5 N
極低温オプション - はい(オープンループのみ)。
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