XYポジショニングステージ / 圧電 / 2軸 / 小型

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XYポジショニングステージ XYポジショニングステージ
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特徴

  • 方向:

    XY

  • タイプ:

    圧電

  • 軸の数:

    2軸

  • その他の特徴:

    小型, 高精度

  • ストローク:

    最大: 300 µm

    最少: 150 µm

詳細

XY300M-SGステージには、各軸にひずみゲージ(SG)ポジショニングセンサ、PCBに組み込まれたSGコンディショナが含まれています。 軸ごとのXY300M-SGステージ変位は、-40°C~+65°Cの温度範囲で有効です。図は、以下のインターフェース制御文書に記載されていない金属カバーオプションを備えたXY300M-SGステージを示しています。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)