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XYZ軸ポジショニングステージ XYZ200M圧電3軸
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特徴
- 方向
- XYZ軸
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 3軸
- ストローク
最少: 0 µm
最大: 180 µm
詳細
記述
圧電気の段階XYZ200MはAPA 200Mのアクチュエーターに基づき、高い剛さを所有している。適用は共焦点の顕微鏡検査、置くマスク点検を含んでいる
利用できる選択
ひずみゲージを;渦電流センサー、真空
状態
標準
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