XY軸位置決めテーブル PENTOR

Z軸電動5軸

特性： 3 軸変換システムと2 軸傾斜システムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換： 各方向に最大 100μmチルト：± 2mrad ソリッドステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプション: 統合された測定システム 光学ステージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします (例えば、光を通すため)。 このような用途のために、PENTORトランスレーションおよびチルトシステムは、17mmフリーセンタホールで開発されました。 これは、X、Y、Z 方向のモーションを100µmに、2つの直交軸（j、q）上で ± 2mradの傾きを提供します。 3つの並進軸のフレキシブルヒンジは、この段階の走行範囲で最高の平行度を保証します。 各軸には機械的なプリロードが内蔵されているため、5 軸ピエゾポジショナPENTORは動的アプリケーションに非常に適しています。 傾斜部分は、プラスマイナスの傾斜用に設計されています。