XY軸位置決めテーブル PENTOR
Z軸電動5軸

XY軸位置決めテーブル
XY軸位置決めテーブル
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特徴

方向
XY軸, Z軸
タイプ
電動
軸の数
5軸
その他の特徴
高精度
ストローク

最大: 100 µm

詳細

特性: 3 軸変換システムと2 軸傾斜システムの組み合わせ 直径 17mmの自由中心穴 各軸の統合プリロード変換: 各方向に最大 100μmチルト:± 2mrad ソリッドステートフレクチャーヒンジ機械式なし平行四辺形設計 再生 オプション: 統合された測定システム 光学ステージは、多くの場合、開放的な中央スペースを必要とします (例えば、光を通すため)。 このような用途のために、PENTORトランスレーションおよびチルトシステムは、17mmフリーセンタホールで開発されました。 これは、X、Y、Z 方向のモーションを100µmに、2つの直交軸(j、q)上で ± 2mradの傾きを提供します。 3つの並進軸のフレキシブルヒンジは、この段階の走行範囲で最高の平行度を保証します。 各軸には機械的なプリロードが内蔵されているため、5 軸ピエゾポジショナPENTORは動的アプリケーションに非常に適しています。 傾斜部分は、プラスマイナスの傾斜用に設計されています。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。