圧電ナノ ポジショナー NanoX® Series
リニア単軸2軸

圧電ナノ ポジショナー
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特徴

タイプ
圧電
方向
リニア
軸の数
単軸, 2軸
技術
アナログ, デジタル
応用
光学部品用, 部品, ロボット用
その他の特徴
精密, 精密加工用, カスタム, 高ブロック力
可搬質量

最大: 10 kg (22.046 lb)

最少: 0 kg (0 lb)

詳細

従来のピエゾベースのナノポジショニングシステムは、軸の動きに1つのスタックタイプのアクチュエータ(ピエゾアクチュエータ)を使用します。 このセラミックスタックは、スタックによって生成される力を平行移動するために、固体フレキシブルジョイントの間に取り付けられています。 これらの力が内部プリロードよりも高い場合、スタックタイプのアクチュエータ(ピエゾスタック)に損傷を与える恐れがあります。 ピエゾシステムジェナによるNanoX® 設計は、この問題をインテリジェントに解決します。 1つの軸に沿った運動は、2つのスタックを使用することによって達成されます。 一方のピエゾアクチュエータが特定の方向に移動している間、もう一方のピエゾアクチュエータは逆の方向に移動し、元の位置に戻ります。 その結果、ナノポジショナー全体の剛性が高くなります(ピエゾ段階)。 このように設計されたナノポジショニングシステムは、より高い力に耐えることができ、スタックが破損する可能性は低くなります。 ピエゾシステムジェナはNanoX® 構造法を用いて様々な段階を提供しています。 最大1.1N/µmの剛性と最大900µmの動作範囲を備えたXおよびXYナノポジショニングシステムがあります。 NanoX® ステージは、高速レーザースキャニング、振動制御、アクティブダンピング、および非常に動的な動きを必要とするその他のアプリケーションに最適です。

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ビデオ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。