高真空マイクロ配置システム MP105-3 series

3軸XYZ軸圧電

高速・高精度マイクロポジショナ - HV / UHV / EUV、移動量20 - 50 mm、繰り返し精度0.2 µm、荷重1 kg - 真空：全レンジ HV / UHV / EUV - 潤滑液：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最大ベークアウト温度120°C オプションで設定可能 - マグネットタイプ、低マグネットタイプ、マグネットレスタイプがあります。 - さまざまなモーターバリエーション。ピエゾモーターまたはナノモーション - 0.005 µm までの繰り返し精度を実現する高分解能測定システムをオプションで用意 - 回転テーブルとの組み合わせで、回転アプリケーションに対応可能 - チャンバー内の設置状況に合わせて個別に対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - オプションでコントローラ FMC400/450 を搭載可能 高精度・高剛性に特化した小型XYZマニピュレーター 限られた設置スペースで、X・Y・Zの3軸を自在に操ることができるマニピュレーターです。最大50mmまでのストロークを実現しました。ピエゾモーターを搭載し、数ナノメートルの位置決めが可能なため、高真空や超高真空での高精度な用途に適しています。また、オプションでナノモーションを搭載することで、特に高動的・高精度な位置決めに適しています。 応用分野 ラボ用超小型精密位置決め、顕微鏡・半導体技術、超高真空・極端紫外線下での研究、試料作成、試料スキャン、試料処理、カメラ調整、センサー調整、材料研究、材料分析、ビームライン、加速器、シンクロトロン、微小化