高真空配置システム LA80-2LA95

多軸3軸XY軸

高速3軸UHVシステム LA80-LA90 UV / UHV / EUV、最大移動量500 mm。500 mm移動、2 µm繰り返し精度、5 kg負荷 超高真空での精密・高速・長寿命なアプリケーションに適した高速搬送ステージです。また、非常に低いエミッションと低いパーティクル数により、極端な紫外線下での使用要件にも適合しています。軸のサイズはLA80、LA95、LA170で、垂直動作で最大20kgまでの荷重に対応するよう設計されています。この軸の組み合わせは、Paul Scherrer Institut（PSI）の「tOMography Nano crYo（OMNY）」の一部として開発されました。 超高真空での精密・高速・高耐久性 - 真空度：HV / UHV / EUVの全レンジで10E-11 mbarまで対応 - 潤滑液：10E-8 / ドライアップ：10E-11 mbarまで - 寿命（キロメートル単位、潤滑剤なし - 最大ベークアウト温度120°C - マグネット仕様も可能 オプション - 最大510 x 80 x 80 mmのアプリケーションに対応した移動量 - フィードバックなしの純粋なステッピングモーターシステムで、最大 5 µm の繰り返し精度 - Z と Y のピエゾ挟み込み式ブレーキにより、ナノメートル領域で優れた静止性を実現 - Z軸とY軸にボールねじを採用し、潤滑油による高速化と長寿命化を実現 - クリーンルーム ISO 14644-1 クラス 4 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） 参考資料 OMNY-A tOMography Nano crYo ステージ｜Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) ｜https://doi.org/10.1063/1.5020247