クリーンルーム用配置システム

繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s

... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...

... XYZステージ 多軸位置決めテーブル リニアガントリーシステム 直交ロボット 技術的特徴 FSL40リニアガイドは、アルミプロファイル、ボディ幅40ミリメートル、高い安定性、コンパクトな構造、汎用性の高い機能、通常の作業環境に適しており、それは、単軸または多軸を使用するのに便利で、さまざまな産業のための簡単な機能的な使用ロボットアームを組み立てる。 応用範囲 正確な位置決め、分注、スプレー塗装、外観検査、移動、つかみ、切断、溶接、自動組立、自動ロックネジ、パレタイジングなど。例えばPCB基板検出、光ディスク積層装置、部品ピック＆プレース。 シリーズFSL40IS-L ストローク範囲50mm-1000mm 位置精度：0.03ミリメートル 最高速度: ...

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 0.03 mm
積載量: 25 kg
ストローク: 50 mm - 1,000 mm

... シリーズFSK40 ストローク範囲50mm~1000mm 位置の正確さ: 0.03mm 最高速度: 255mm/s 最大負荷: 25キロ ボールねじ：G1204/G1605/G1610 ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション 付加価値サービス 新しいソース、新しい価格、新しいチャンス。 FUYU ...

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... 半導体用XYZデュアルインスペクションポータル カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... バキュームチャック付きXXL XYZポータル カスタマイズ可能： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 mmの領域で真空チャックを移動します。標準システム ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.8 µm
ストローク: 100 mm - 300 mm
速度: 80 mm/s - 630 mm/s

... XY-2Z 3Dプリンティングガントリ（クリーンルーム） カスタマイズ可能 - 高精度で汎用的な積層造形プロセスの3Dプリンティングに最適 - 300 x 200 x 100 mmの移動量による高いスループット、600 x 600 x 100 mmまで拡張可能 - 2つのZ軸により、2つ目のプリントヘッドや品質管理用センサーなど、2つのプロセスを同時に統合可能 - 3Dプリントにおいて0.4 µmまでの極めて高い繰り返し精度 - 高い耐久性と長いメンテナンス間隔によるクリーンルーム対応 このコンパクトで非常にダイナミックな3軸システムは、デリケートな基板の3Dプリント用に特別に設計されています。Z軸のカスタマイズされたプリントヘッドは、基板上を非常に高速で移動します。最大300mmまでの大きな移動量により、大量生産が可能です。 仕様 - ...

繰返し精度: 10 µm
積載量: 830 g
ストローク: 14 mm

... コントローラ一体型Z-Phiロータリーストロークアクチュエータ（クリーンルームISO 8） カスタマイズ可能： - クリーンルームでの自動生産に最適（調整、ねじ込み、積み重ね、充填、閉鎖など - 最大14 mm x 360°の同期または独立したリニアおよびロータリーモーション（移動範囲は拡張可能） - 64個以上のアクチュエータを1つのバスシステムに統合することで簡単に拡張可能 - 最大0.03の繰返し精度で動作全体を連続制御 - プラグアンドプレイ機能による迅速なメンテナンスと長寿命 このZ-Phiポジショナでは、高精度な直線運動と回転運動を非常にコンパクトに組み合わせることができます。動きは、互いに同期してプログラムすることも、完全に独立してプログラムすることもできます。フィールドバスインターフェースを備えたモーションコントローラは、プラグアンドプレイに対応しており、位置決めユニットに直接組み込まれています。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.001 µm - 3.5 µm
積載量: 6.5 kg
ストローク: 4 mm - 20 mm

... 6軸小型XYZ-θ-Phi-δ位置決めシステム（クリーンルームISO 5） カスタマイズ可能 - 最大300 mm / 12 "までのウェハーおよび光学部品の自動検査に最適 - 2.5μmまたは±0.005°の高い繰り返し精度 - 520 x 600 x 155 mmの卓越した精度、剛性、コンパクト性 - クリーンルームクラスISO 5までの3シフト運転に対応した設計 6軸マニピュレーターは、水平軸にXYステージ、垂直軸に三脚と2つのチルトを備え、直交運動と平行運動の長所を1つのシステムで実現しています。 仕様 - ...

... ZT ボックスは、2 つの自由度 (Z および Theta) を 1 つの単位内に組み合わせたモジュールです。 Z 方向に沿って、粗いものと細かいものの2つの動作が可能です。 このモジュールは、スタンドアロンモードで使用することも、XYプラットフォームの上にマウントすることもできます。 このモジュールは、薄膜測定、臨界寸法などのウエハプロセス制御アプリケーションに特に適しています 特性 -無限の回転 -ウェハチャックレベルでの真空供給を内蔵 -重力補償器を内蔵 -真空によるISO1クリーンルーム互換 ...

繰返し精度: 0.3, 0.5 mm
ストローク: 100, 820 mm
速度: 150, 750 mm/s

... クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動測定できる検査装置です。高いダイナミクスと最高の再現性を実現します。高解像度のカメラやセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 自動化された低メンテナンスの24時間365日検査 - ウェハー、プローブカード、プリント基板などの自動検査に最適です。 - 最大720mmまでの移動により、複数の対象物を同時に検査することが可能 - 2つのプロセスを同時に統合する場合に最適 - ...

繰返し精度: 1.5, 2.5 µm

... ウェーハステッパー用レンズの高精度調整を実現するダブルXY直動軸｜クリーンルームでの超微細UV露光 - 精密アセンブリ 2つの光学系を高精度に調整 ウェーハステッパー用に特別に開発された高精度なダブル直動軸です。UV露光の際、より微細な構造を実現するために、2つのレンズを相対的に、また一緒に位置決めする必要があります。このソリューションは、共通のガイドシステム上の2つのスライド軸で構成されています。2つの移動スライドキャリッジはそれぞれ3つのキャリッジを持ち、レンズをできるだけ接近させるために、互いの中で部分的に移動することができます。 極度に乾燥した環境下での超微細画像処理 - ...

繰返し精度: 0.6, 1 µm
ストローク: 10 mm
速度: 25 mm/s

... 縦方向に高精度で速いショートムーブメント この高精度位置決めシステムは、費用対効果の高い接触型3Dプリントプロセスのために特別に設計されています。プリントヘッドはボイスコイルで作動するため、プリントプロセス中、サンプルはキャリアとの距離を最小限に抑えながら、非常にダイナミックかつ高精度に位置決めされます。このため、粘度に関係なく、極めて高速な動きをするキャリア上で、最小のメディアを高精度に、かつダメージを与えることなく位置決めすることが可能です。ほぼアッベ配列のリニア測定システムにより、必要に応じて1μm以上の繰り返し精度を実現します。 ...

繰返し精度: 3, 5 µm
ストローク: 200 mm
速度: 30 mm/s

... 高安定な非接触光学測定。 カスタム顕微鏡やカメラ、センサーを搭載するためのZ垂直ユニットが独立したXYコンビネーションです。御影石プレートにステッピングモーターを搭載したクロスステージKT310は、被検査ウエハーを高精度に顕微鏡に移動させ、安定した高解像度イメージングを可能にします。内蔵モーター、クロスローラーガイド、高精度ボールネジを採用したコンセプトにより、設置スペースを有効に活用し、優れた精度を実現します。 細部にわたる高精度な解析が可能 - ウェーハ、プリント基板、プローブカードの光学式検査に最適です。 - ...

... ウェハー、生体試料検査用X線位置決め装置（クリーンルームISO 5）｜回転軸とリニアステージ｜検査・顕微鏡｜製品紹介｜イビデン株式会社 高精度な直線回転位置決め このX Phiシステムは、センサーやカメラに対して正確に定義された角度でサンプル（例：ウェハー、生物学的サンプル）を位置決めすることができます。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内部に収納されています。クリーンルームに対応するため、中央の測定システムと移動する回転ユニットのケーブルガイドは、リニアシステムの筐体内に収納されています。 ...

... 12インチウェーハ、プリント基板に最適なXYZ Phi検査装置（クリーンルームISO 2） - 検査・顕微鏡 クリーンルーム対応ユニバーサル4軸グラナイトガントリー このXYZ Phi位置決めシステムは、クリーンルームISO 2までの半導体および電子機器製造における様々なテストおよび検査工程に使用することができます。XYで320 x 320 mmまで移動できる設計のため、12インチまでのすべての標準的なウェハサイズに適しています。リニアモータ駆動のKT405-320-EDLMメカニカルステージを使用して、Z軸方向にレーザー、センサ、カメラなどを高精度に操作することができます。センサーやカメラの上下移動は、PMT160-050-DC-R/L精密測定ステージで調整します（オプションでスイベルユニットを追加可能）。 要求の厳しいクリーンルームで高精度な検査を実現 - ...

速度: 130, 330 mm/s

... マイクロタイターウェルのハイスループット・スクリーニング用XY-Z位置決めシステム（クリーンルーム）｜医薬品試験、ライフサイエンス試験等の高精度な測定が可能です。 - ラボラトリー／アナリティクス 高精度なスクリーニングタスクのための大型透過式位置決めシステム 大口径で両面からの測定や透過光による測定が可能な高精度XY-Z位置決めシステムです。Z方向には、カスタマイズした顕微鏡やカメラ、センサーを取り付けることができます。マイクロタイターウェルプレートをXYステージKDT600-EDML上でZ軸方向に移動させます。400mmの大型透過光の上に350mmの移動距離で最大12枚のウェルプレートを配置することができます。サンプルを下から透過照明で照らすことで、バイオ反応の完璧なスクリーニングを実現します。 ...

繰返し精度: 1 µm

... XYZ検査ポータル、最大移動量720 mm｜XYリニアモーター、プロファイルレール｜Zボールネジ、DCモーター クリーンルーム用高精度品質検査装置 この検査システム（写真はカバーなし）は、自動品質保証のために特別に設計されています。位置決めシステムにより、2つの直線軸に沿った位置決めが可能です。高解像度のカメラやセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査や測定、特別な品質特性の記録を行います。このシステムは、3軸用の独立したモーションコントローラによって制御されます。 自動化され、低メンテナンスで24時間365日検査が可能 ...

繰返し精度: 1 µm

... ガントリーは、1,000×800mm（用途やスペースに応じる）の面積を0.3μmの再現性でダイナミックに移動できるため、安定した品質で高いスループットを保証します。水平XY軸では、内蔵のリニアモーターにより500 mm/sの加工速度を確保し、垂直Z軸ではACサーボにより最大200 mm/sの値を達成します。Z軸のカスタマイズされた加工ヘッドやセンサーは、御影石上のキャリアの上を素早くスムーズに移動します。トラバースは最大10kgまでの荷重に対応し、高さはアプリケーションとコンポーネントの高さに応じて最大500mmまで変化させることができます。 多彩な個別カスタマイズオプション - ...

... 高速3軸UHVシステム LA80-LA90 UV / UHV / EUV、最大移動量500 mm。500 mm移動、2 µm繰り返し精度、5 kg負荷 超高真空での精密・高速・長寿命なアプリケーションに適した高速搬送ステージです。また、非常に低いエミッションと低いパーティクル数により、極端な紫外線下での使用要件にも適合しています。軸のサイズはLA80、LA95、LA170で、垂直動作で最大20kgまでの荷重に対応するよう設計されています。この軸の組み合わせは、Paul ...