積層構造用配置システム CHARON2HD

XY軸2軸リニア

HDはハイ・ダイナミクスの略です。CHARON2HDでは、性能に妥協することなく、既存のベース製品のダイナミクスが2倍になります。 CHARON2ファミリーと同様に、HDバージョンは、単一のX軸から完全な6自由度(DOF)モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。CHARON2HDシステムは、当社の標準エレクトロニクスから選択することで、目標仕様に最適な性能の拡張が可能です。 CHARON2と比較して、HDバージョンは速度と加速度の両方を2倍にすることができ、2m/sと2gの加速度に達します。 標準マウントインターフェースにより、このCHARON2HDは、性能を損なうことなく、CHARON2アプリケーションのスループットを向上させるドロップインアップグレードと考えることができます。 特徴 限られたスペースのアプリケーションに適したコンパクトなフットプリントとデザイン 最大6自由度 真空供給と顧客信号ケーブルをチャックレベルに内蔵 主な特徴は以下の通りです： ナノメートルの位置安定性 長時間にわたって正確な位置決め精度を保証します。 Z3TM+複合モジュールによるティップチルト補正 最適な位置決めのための正確な調整が可能 Z3TM+モジュールによる粗動Z機能 12mmの電動昇降機構を追加し、ウェーハのローディングとオフローディングを可能にします。 チャックレベルに真空供給装置を内蔵 適切なマテリアルハンドリングにより、効率的なオペレーションを実現します。 短時間での移動・沈降 素早い反応と安定化により生産性を向上