積層構造用配置システム VULCANO2

2-3軸リニア半導体産業用

VULCANO2は、ハイエンドの光学エンコーダに組み合わされたメカニカルベアリングをベースにしたガントリスタック軸アーキテクチャです。 革新的な設計原理とともに、ETELの有名なアイアンコアモータを使用すると、大幅に改善された幾何学的およびモーション性能レベルで高いダイナミクスに到達することができます。 半導体アプリケーションの緩和に重点を置いたこのプラットフォームは、よりダイナミクスの高いソリューションを必要とするあらゆる市場やニーズに適合しています。実際、クラス最高のフットプリントでさえ、全体的な所有コスト（Cost of Ownership）の価値提案を最大化するのに優れています。 より高いスループットやデューティサイクルに到達すること、または再現性や精度を損なうことなく重いペイロードを提供することを目指すお客様は、自信を持って標準のVULCANO2または派生したカスタマイズされたソリューションを採用することができます。 VULCANO2は、ダイナミクス、デューティサイクル、ペイロードがあまり厳格ではないすべてのユースケースに対する完璧なソリューションを表し、非常に長い時間のために位置決め精度を確立する必要があります。Uレベルのナビゲーション精度の数時間を提供することは、もはや夢ではなく、この新しいから固体の現実ですETELから提供. このプラットフォームの使用は以下に適していますが、これらに限定されません。 -オーバーレイ計測、臨界寸法、薄膜計量などのウェハプロセス制御アプリケーション -バックエンド：大型パネル/基板上で行われるフリップチッププロセス 特性： -コンパクトなフットプリント -最大ペイロード80 kg -ナノメータレベルでの位置安定性 -ハイダイナミクス-優れた双方向再現性と位置安定性 -ISO 2クリーンルーム対応