DXR + は、コンパクトな設計、軽量、大型の中空シャフトを特長とし、半導体および電子機器のミッドエンド用途に適した性能とコスト比を提供するETELのロータリーモジュールです。
DXR + は剛性の点で大きな改善をもたらし、それをサポートするXY 段階の制御帯域幅に直接影響を与えます。 DXR + モジュールは、48VDCから最大 300VDCバス電圧まで動作可能です。 この装置は、AccurETモジュラー48または300で駆動することも、より良い位置安定性の要件のためにAccurET VHPで駆動することもできます。
DXR + モジュールは、以下を必要とするアプリケーションに対応する適切なソリューションを提供します。
-滑らかさ
-ミッドエンドタイプの精度要件(通常は約 5 µm 振れ)
-100 nm 範囲での位置安定性 @ 150 mm
このモジュールの使用は適していますが、これらに限定されるものではありません
~-ウェーハプロセス制御、ウェーハダイシング
-ウェーハスクライビング-
レーザーアニール-
太陽電池製造
など
主な仕様:
-双方向再現性 ± 2アーク秒(± 3シグマで ± 2アーク秒)
-位置精度:± 30アークまで(キャリブレーションなし)& キャリブレーション後 ± 3アーク秒まで ± 3アーク秒まで
- 最大 400rpmの速度
-位置安定性 ± 0.2アーク秒
-高速安定機能
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