ダイレクトドライブ回転軸 DXR+
電子半導体用コンパクト

ダイレクトドライブ回転軸
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特徴

タイプ
ダイレクトドライブ
製品用途
電子, 半導体用
その他の特徴
コンパクト, 精密
タイプ
中空

詳細

DXR + は、コンパクトな設計、軽量、大型の中空シャフトを特長とし、半導体および電子機器のミッドエンド用途に適した性能とコスト比を提供するETELのロータリーモジュールです。 DXR + は剛性の点で大きな改善をもたらし、それをサポートするXY 段階の制御帯域幅に直接影響を与えます。 DXR + モジュールは、48VDCから最大 300VDCバス電圧まで動作可能です。 この装置は、AccurETモジュラー48または300で駆動することも、より良い位置安定性の要件のためにAccurET VHPで駆動することもできます。 DXR + モジュールは、以下を必要とするアプリケーションに対応する適切なソリューションを提供します。 -滑らかさ -ミッドエンドタイプの精度要件(通常は約 5 µm 振れ) -100 nm 範囲での位置安定性 @ 150 mm このモジュールの使用は適していますが、これらに限定されるものではありません ~-ウェーハプロセス制御、ウェーハダイシング -ウェーハスクライビング- レーザーアニール- 太陽電池製造 など 主な仕様: -双方向再現性 ± 2アーク秒(± 3シグマで ± 2アーク秒) -位置精度:± 30アークまで(キャリブレーションなし)& キャリブレーション後 ± 3アーク秒まで ± 3アーク秒まで - 最大 400rpmの速度 -位置安定性 ± 0.2アーク秒 -高速安定機能

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見本市

この販売者が参加する展示会

BIEMH 2024
BIEMH 2024

3-07 6月 2024 Bilbao (スペイン) ホール 6 - ブース C-04

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    *価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。