ステンレススチール製回転軸 DXR+

アルミニウム合金ダイレクトドライブ中空

DXR+は、半導体およびエレクトロニクス業界の中級機向けに設計された回転モジュールで、コンパクトな設計、軽量な質量、性能対コスト比を最適化する大型中空シャフトが特徴です。 剛性を大幅に改善し、サポートするXYテーブルの制御帯域幅を直接拡大します。48～300VDCの幅広いバス電圧で動作します。高い位置安定性が要求される場合は、アキュレットモジュラーまたはアキュレットVHPで駆動できます。 DXR+モジュールは、標準的なXYプラットフォームと互換性があり、無制限の角度移動または角度セグメントに限定した移動が可能です。一定の条件下でISO 5からISO 1までの清浄度基準を満たします。 特徴 双方向繰返し精度 ±2 arcsec at ±3sigma 位置精度：校正なしで±30秒、校正後は±3秒 最高速度400rpm 位置安定性 ±0.2 arcsec 高速安定性 主な特徴は以下の通りです： 薄型・低質量 高精度アプリケーションに最適 高精度光学式エンコーダー 正確なモーションコントロールを保証します。 無制限の移動または制限された角度セグメント 位置決めの柔軟性を提供します。 チャックレベルでの真空供給 真空アプリケーションとの互換性を高めます。 クリーンルーム対応 ISOクラス5からISOクラス1まで対応し、管理された環境に適しています。