6 軸配置システム TRIPOD 52-6DoF
三脚真空

6 軸配置システム
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特徴

軸の数
6 軸
構造
三脚
応用
真空

詳細

TRIPOD 52-6DoFは、CLS-52モジュラーシステムと互換性があり、より大型のTRIPOD 92-6DoFと同様に、ティップチルトステージで構成されています。 3つのタレットの配置により、天板のロール・ピッチ運動はΘxが±8.5°、Θyが±9.5°、Z方向は5mmの直線移動が可能です。トッププレートには、SR-3211回転ステージを取り付けるためのスロットがあり、セットアップに第4の自由度を追加することができます。一方、底板はブレッドボードに直接取り付けるか、2つのCLS-52直線DeepLトランスレーションで構成されるXYプラットフォームに取り付けることが可能です。後者の場合、5次元位置決めシステム、またはSR-3211と合わせて6次元位置決めシステムを構築することができます。 メカニカル 移動量[mm] - 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) 移動量 [ - 17 (Θx); 19 (Θy); 無制限(Θz) 最大法線力 [N] - 5 最大水平力 [N] - 2.5 寸法[mm] - 90 x 90 x 80 地面からのプラットフォームの高さ [mm] - 80 重量 [g] - ~ 550 クローズドループ センサーの種類 - S 最小刻み幅 [nm] - 1 最小増加量[µrad] - 1 クローズドループ繰り返し精度、フルストローク MCS2 [nm] - < ± 200 クローズドループ繰り返し精度、1 mmトラベル MCS2 [nm] - < ± 10 閉ループ繰返し精度、フルストローク MCS2 [µrad] - < ± 15 オプション 真空オプション - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) 非磁性体オプション - 有 (-NM)

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カタログ

SmarAct Catalog 20
SmarAct Catalog 20
212 ページ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。