6 軸配置システム TRIPOD 52-6DoF三脚真空

6 軸配置システム
6 軸配置システム
お気に入りに追加する
比較検索に追加する
参考価格 

特徴

軸の数
6 軸
構造
三脚
応用
真空

詳細

TRIPOD 52-6DoF TRIPOD 52-6DoFは、SLS-52モジュラーシステムと互換性があり、より大きな同等のTIPOD 92-6DoFと同様に、チップチルトステージで構成されています。 3つのタレットの配置により、トッププレートのロールとピッチの動きを、±8.5°の範囲で行えます。5 mmのZ方向への平行移動。 トッププレートには、SR-3211回転ステージ用のマウントスロットがあり、セットアップに第4自由度を追加します。 逆に底板は、2つのSLS-52リニア翻訳ステージからなるブレッドボードまたはXYプラットフォームに直接取り付けることができます。 その後の可能性は、5Dに、またはSR-3211と一緒に6Dポジショニングシステムになります。 トラベル [ミリメートル] 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) トラベル [17 (x); 19 (y); 無制限 (z) 最大. 垂直荷重 [N] 5 最大 水平荷重 [N] 2.5 寸法 [mm] 88 x 61(ベースプレートなし64 x 61) 地上からのプラットフォームの高さ [mm] 81 重量 [g] ~ 550 クローズドループ センサタイプ S 最小増分 [nm] 1 最小増分 [μrad] 1 クローズドループ繰り返し性 [nm] < ± 15 (1mm リニア)移動) 閉ループ繰り返し性 [μrad] < ± 10 オプション真空オプションHV (1E-6 mbar); UHV/UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプションあり (-NM)

---

カタログ

この商品のカタログはありません。

SmarAct GmbHの全カタログを見る

SmarAct GmbHのその他の関連商品

TRIPOD - A Hexapod-like Positioning System

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。