化学気相成長プラズマ源

光起電性表面処理用

原子酸素と原子窒素用のRF AtomSource 最適化された設計による電力損失の最小化 放電ゾーンは高品質の材料から製造され、ビーム ゼロイオン電流構成の汚染を最小限に抑えます 高品質の複合材料の成長 理想的には中性の原子種が必要です。 一方、酸素や窒素などの分子ガスは、原子形態に解離した場合よりも反応性が低いことが示されています。 したがって、分子酸素を使用した酸化物の形成には、通常、高温および/または延長された酸化期間が必要ですが、分子窒素は多くの材料に対して反応性がほとんどありません。 したがって、解離された種は多くの桁違いの反応性を増加させているため、酸化物または窒化物を低圧で合理的な基板温度で栽培することができます。 しかし、プラズマ過程で発生するイオン種は精力的であり、おそらく点欠陥を生み出す傾向がある。 一方、原子種はごくわずかの運動エネルギーを運び、したがって欠陥を発生させることなく急速な膜成長を可能にする。