デジタルカメラ SDV series

エリアスキャン2D顕微鏡

概要
本カメラはSonyのInGaAsセンサー（SONY IMX990 / SONY IMX991、2020年5月導入）を搭載し、可視光域からSWIRまで（400 nm–1700 nm）の広帯域に対応します。シリコンウェハ裏面のパターン検査やIR顕微鏡など、工業用途のSWIRイメージングに適しています。

USB3タイプ（概要）
モデル：SDV-990A-USB3 / SDV-991A-USB3
センサー：SONY IMX990 / SONY IMX991
解像度：1280(H) x 1024(V) / 640(H) x 512(V)
画素サイズ：5 µm x 5 µm
走査領域：6.4 mm x 5.12 mm（対角 = 8.2 mm） / 3.2 mm x 2.56 mm（対角 = 4.1 mm）
インターフェース：USB3.0
シャッター：グローバルシャッター
対応波長：400 nm – 1700 nm
フレームレート：12-bit（IMX990 最大72 fps、IMX991 最大137 fps）
SNR：51 dB
電源：DC 12V入力
レンズマウント：Cマウント
動作温度：10 – 40 °C
保存温度：0 – 60 °C
寸法：71.6（W） x 61.5（H） x 78.0（D）mm（突起部除く）

Camera Linkタイプ（概要）
モデル：SDV-990A-CL / SDV-991A-CL
センサー：SONY IMX990 / SONY IMX991
解像度：1280(H) x 1024(V) / 640(H) x 512(V)
画素サイズ：5 µm x 5 µm
走査領域：6.4 mm x 5.12 mm（対角 = 8.2 mm） / 3.2 mm x 2.56 mm（対角 = 4.1 mm）
インターフェース：Camera Link
出力コネクタ：SDR26pin
シャッター：グローバルシャッター
対応波長：400 nm – 1700 nm
露光時間：20.3 µs – 2 s
フレームレート：12-bit（IMX990 最大72 fps、IMX991 最大137 fps）
SNR：51 dB
電源：DC 12V入力
レンズマウント：Cマウント
動作温度：10 – 40 °C
保存温度：0 – 60 °C
寸法：71.6（W） x 61.5（H） x 78.0（D）mm（突起部除く）

グラフと使用例
製品ページにはIMX990/IMX991の波長に対する相対量子効率のグラフを掲載しています。代表的な用途例として、IR顕微鏡や各種照明条件下でのウェハ裏面撮像が挙げられます。

特長 / 仕様

• センサー種類：SONY IMX990（1.3MP）および SONY IMX991（0.32MP）
• センサー技術：InGaAs（SWIR感度）
• 感度波長範囲：400 nm – 1700 nm
• 解像度：1280 x 1024（IMX990）、640 x 512（IMX991）
• 画素サイズ：5 µm x 5 µm
• 走査領域：6.4 mm x 5.12 mm（IMX990）、3.2 mm x 2.56 mm（IMX991）
• インターフェース：USB3.0（SDV-990A-USB3 / SDV-991A-USB3）および Camera Link（SDV-990A-CL / SDV-991A-CL）
• 出力コネクタ（Camera Link）：SDR26pin
• シャッター：グローバルシャッター方式
• フレームレート / ビット深度：12-bit；IMX990 最大72 fps、IMX991 最大137 fps
• SNR：51 dB
• 露光時間（Camera Link）：20.3 µs – 2 s
• 電源：入力電圧 DC 12V
• レンズマウント：Cマウント
• 動作温度：10 – 40 °C
• 保存温度：0 – 60 °C
• 寸法：71.6（W） x 61.5（H） x 78.0（D）mm（突起部除く）
• 主な適用例：ウェハ裏面のパターン検査、IR顕微鏡やその他のSWIRイメージング用途