単軸加速度計 ER-MA-6

MEMS頑丈ミニチュア

MEMS（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）加速度ピックアップは、MEMS技術を用いて製造された加速度ピックアップです。マイクロエレクトロメカニカル・システム技術の使用により、そのサイズは大幅に縮小され、MEMS加速度ピックアップは指の爪の数分の一の大きさしかありません。MEMS加速度ピックアップには、小型、軽量、低消費電力という利点があります。 ER-MA-6は、重力による直線加速度を測定できる慣性センサです。本製品は、広い測定範囲、超高精度、高信頼性、低消費電力を特長とするMEMS加速度センサーです。 特長 大レンジ、超高精度、高信頼性、低消費電力 クラスII非直線性<10µg/g2 バイアス安定性（1秒平滑）（1σ）：<15ug バイアス安定性(10s平滑)：<5ug バイアス不安定性（アラン曲線）：<2ug アプリケーション 慣性計測：慣性誘導、過負荷計測、統合ナビゲーション 傾斜計測：アンテナ姿勢、プラットフォーム計測、傾斜角テスト 振動計測：機械装置、橋梁、ダム、安全試験 仕様 カプセル化 - CLCC48 軸 - Y レンジ - 60 - g ファクター・スケール非直線性 - 150 - Hz グループ遅延 - <3 - ms クラスII非直線性 - <10 - µg/g2 ノイズ - <30 - µg/√Hz @1hz スレッショルド値 - <30 - µg 工場バイアス（室温） - <±1 - mg（室温校正値） 工場バイアス温度ドリフト - <±0.5 - mg 工場バイアス温度ヒステリシス - <0.2 - mg