DC/DCパワーサプライ HSEM

モジュール式高電圧

主な用途 透過型走査電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、半導体分析、フライス加工・修正、イオンビームエッチング、集束イオンビームリソグラフィー WismanのHSEMシリーズ高圧電源は、イオンビーム集束専用の包括的なマルチ出力高圧電源です。代表的なアプリケーションには、透過型および走査型電子顕微鏡、半導体分析、光ドライブヘッドのフライス加工および修理、イオン、ビームエッチング、集束イオンビームリソグラフィーなどがあります。モジュラー設計方式により、個々のコンポーネントを簡単に構成し、共通ラック内の大型シャーシに組み立てることができる。インターフェース、ロジック、制御回路は表面実装技術により、コストとサイズを最小限に抑えている。加速電源、フィラメント電源、極性吸収電源、極性抑制電源、レンズ電源を内蔵。超低出力リップル、優れた調整率、安定性、温度ドリフト、精度。特許取得の高電圧サスペンションとデジタル制御技術。HSEMシリーズの高精度モジュールは価格競争力があり、OEMアプリケーションに最適です。 アクセラレータ電源 出力電流：300μA リップル：120 mV P-P、0.1 Hz～1MHZ ラインレギュレーション：入力変化±10%（100mV時 負荷変動：±0.01%、最大電圧、全負荷変動 安定性：1.5V/10時間、2時間ウォームアップ後 温度係数：25 PPM / °C フィラメント電源 リップル：10mA P-P、0.1 Hz～1MHZ ライン規制：5mAまで+/-10%変化 負荷変動：±0.1%、最大電圧、全負荷変動 安定性： 2時間ウォームアップ後5mA/10分 温度係数： 200 PPM / °C