DC/DCパワーサプライ ECD

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応用分野 静電駆動式マテリアルハンドリング、半導体ウェハー処理、機械的ハンドリングに敏感なフラットシートやその他の加工材料の非機械的搬送。 Wismanのソフトウェア駆動静電チャック電源装置ECDシリーズは、要求の厳しい様々なアプリケーションに対応する様々な機能を備えています。この装置にはWismanのアンプ技術が組み込まれており、他の電源に比べて効率とスループットが3倍も向上することが示されています。過電流、ウェーハプレゼンス、ウェーハクランプしきい値、クランプ電圧、オフセット電圧、内部または外部振幅/オフセット制御などのパラメータ制御、調整中の振幅/オフセットおよび出力制御の多用途性、リアパネルI/O、シリアルコンピューターコマンド、またはフロントパネル制御を使用した出力制御、カスタムクランプ/デクランプシーケンスおよび波形の構成。WismanのECDの多用途で信頼性の高い性能は、設備内の各個別のツールやプロセスに新たなコストを追加することなく、幅広い独自のツールやプロセスでの使用を可能にします。 特徴 ロック可能なフロントパネル制御インターフェース。 各ユニットにトレーサブルな校正証明書を添付。 Coulombic および Johnsen-Rahbek ESC テクノロジーに対応。 ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースにより、静電チャックプロファイルを装置にアップロード、保存。 ウェーハ無し、ウェーハ有り、ウェーハクランプ状態を含むウェーハ検出。 特徴 電圧表示 比例： 1V/ 300 V B相DC：フルスケールの0.5%以上の精度