DC/DCパワーサプライ EBL

単相ショート防止機能付負荷保護付

代表的な用途 マイクロ光学,半導体露光装置,半導体露光装置,マスク WismanのEBL高圧電源は、半導体ナノリソグラフィ、マイクロオプティクス、開発マスクワークなどの精密電子ビームアプリケーション用に設計されています。超低リップル、優れた安定性仕様で、要求の厳しいアプリケーションに最適です。低出力電流と高出力電流を選択できます。 固体封止の高電圧部は、環境変数からコンポーネントを隔離しながら、ユーザーのメンテナンス問題を排除します。デバイスは完全に過負荷、アーク、短絡保護です。リモート・コントロール・プログラミングおよびモニタリング機能を提供します。高電圧出力の正確なパッシブ測定が可能。オプションのUSB2.0、ネットワークポート、RS-232、RS485デジタル通信は、ユーザーの要件に応じてカスタマイズすることができます。 仕様 電圧調整：指定入力電圧範囲内で定格電圧の±0.001 負荷調整： ≤20V、電流は25μAから60μAおよび60μAから25μAに変わる リップルピーク・ツー・ピーク値≤70mV 高電圧微小放電：200mV以下 安定性：予熱6時間後、8時間毎に0.001％、温度は20℃±0.2 温度係数: 10°Cから40°Cの範囲で摂氏度あたり25ppm 環境 動作温度0 から 40 の摂氏温度 保存温度: -40 から 85 の摂氏温度 湿度：10～90％RH、結露なし 冷却対流冷却 フロントパネル 電源ON/OFFスイッチ HVオン/オフスイッチ HV ON/OFFインジケーター