アルカリ糸加工機

ウェハー用

・処理能力：600個/バッチ、14400個/時（210mmウェハー）；720個/バッチ、17280個/時（182mmウェハー）； ・裏面エッチング研磨および単結晶裏面テクスチャリングプロセスに対応； ・各種添加剤に対応； ・ウェハ厚さは120μmまで対応； ・ドライクリーンエリアおよびセルフクリーニングシステムを装備； ・インラインでの迅速な浴液交換が可能； ・MES、RFIDシステムに対応、インライン重量検査はオプション。