PECVD貯蔵マシン PECVD

・電極の接触が確実で、粉塵の発生や高周波アラームの発生頻度を効果的に低減します。 ・シンプルで信頼性の高い自動ボート積載・排出装置により、設備のメンテナンススペースと利便性が向上します。 ・可動部品の設置およびメンテナンスを片側で行うことで、機器のメンテナンスに影響を与えることなく、背中合わせに設置された機器の設置面積を削減します。 ・高速かつ安定した一体型モジュール式ボート押し出し機構。 ・補助加熱に関する特許技術。 ・高速コーティング技術。 ・独自の知的財産権を有するMESソフトウェアおよびCCCシステム。