スパッタリング式塗工機

... ・薄膜層の密着性を効果的に向上させるための、プラズマおよびグラファイトターゲットの前処理； ・デュアルスパッタリングプロセスチャンバーを採用し、シングルチャンバーと比較してコーティング時間を半減させ、サイクルタイムの短縮を実現； ・複数のスパッタリングターゲットを装備し、様々な材料の高効率な成膜を実現； ・複数の蒸発ボート間の間隔を無段階に調整可能であり、ES距離の微調整とシリンジポンプによる注入量の精密制御により、製品の耐油性を確保； ・大口径のコーティングドラム設計とカスタマイズされた基板吊り下げソリューションを組み合わせることで、スループットを大幅に向上させます； ・基板の自動搬入・搬出機能に加え、ドアバルブおよびトラック安全検知機能を統合し、安全な操作を保証します。 ...

... 専用コーター 用途 2P1300M型ロールtoロールコーターは、シドラーベが独自に開発した、多孔質で網目状のウェブをコーティングするための装置です。 処理された材料は、電池素子や医薬品として使用されます。 エンジニアリングとテクノロジー このコーターは、DCマグネトロンスパッタリングを応用した片面および両面のニッケルおよび銅の成膜を目的としています。他の金属の成膜も可能です。 コーティングは、4つの成膜ゾーン（各ウェブサイドにつき2ゾーン）でフリーウェブスパン上に成膜されます。必要なコーティング厚みは、リバースワインディングを使用して数回実行する間に得られます。垂直搬送により、パーティクルのない成膜面が得られます。 2つのコンパートメントからなるチャンバーは、ポンプを分離しているため、巻取りゾーンと成膜ゾーンの間に必要な圧力差が得られます。 特殊な巻取りシステムにより、変形や加熱に敏感な材料を伸縮やしわなしに搬送するための、低く滑らかな張力プロファイルを確保。 冷却ゾーンは、基板からの効果的な熱除去を確実にするため、各蒸着ゾーンの後に配置されています。 ...

... LEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、建築用ガラスコーティングのニーズに合わせて特別に設計された水平インラインスパッタコーティングツールです。 ユニークなコンパートメントデザインのLEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、難しい層スタックや柔軟な製品ミックスに最適です。 典型的なコーティングには、太陽光制御、反射防止、シングル、ダブル、トリプル低放射率（Low e）、太陽光制御コーティングが含まれます。 LEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、標準のUSおよびジャンボ基板サイズに対応しており、最大 ...

... DLC-ダイヤモンドライクカーボンコーティング 製品の説明 システム概要 ダイヤモンドライクカーボンコーティングは、アークスパッタリングシステムを搭載した高性能で操作が簡単なコーティングで、部品表面が高接触圧力、断続的な潤滑、または過酷な研磨剤や接着剤の摩耗条件が存在するドライスライディングやローリング環境にさらされる厳しい自動車、非鉄材料の機械加工や産業工学の環境で使用されています。また、DLCコーティングは、様々な医療器具や歯科用器具、インプラントにも一般的に適用され、トライボロジー保護特性を強化したダークブラック、反射防止、生体適合性のある表面を提供しています。 システムの種類 垂直バッチ ...

... 製品紹介 マグネトロンスパッタリング成膜装置は、磁場とスパッタリング技術を利用して、基板表面に薄膜を成膜する装置の一種です。真空チャンバー、スパッタリングターゲット、基板ブラケットなどの部品で構成されています。真空環境下において、不活性ガスイオンをターゲット材料に衝突させることにより、ターゲット材料の原子または分子をスパッタリングし、基板上に堆積させて薄膜を形成する。光学、電子、半導体など幅広い分野に応用されている。薄膜の品質が高い、均一性が良い、制御性が高いなどの利点があり、様々な分野の薄膜作製を強力にサポートすることができる。 ...