スパッタリング式塗工機

光学式

・薄膜層の密着性を効果的に向上させるための、プラズマおよびグラファイトターゲットの前処理； ・デュアルスパッタリングプロセスチャンバーを採用し、シングルチャンバーと比較してコーティング時間を半減させ、サイクルタイムの短縮を実現； ・複数のスパッタリングターゲットを装備し、様々な材料の高効率な成膜を実現； ・複数の蒸発ボート間の間隔を無段階に調整可能であり、ES距離の微調整とシリンジポンプによる注入量の精密制御により、製品の耐油性を確保； ・大口径のコーティングドラム設計とカスタマイズされた基板吊り下げソリューションを組み合わせることで、スループットを大幅に向上させます； ・基板の自動搬入・搬出機能に加え、ドアバルブおよびトラック安全検知機能を統合し、安全な操作を保証します。