ロールツーロールタイプ塗工機

スパッタリング式自動

・多工程・高速成膜に対応した拡張可能な成膜チャンバー； ・薄膜層の密着性を効果的に向上させるプラズマ表面処理； ・生産効率を向上させるマルチチャンバー式スパッタリング成膜チャンバー； ・複数の独立したスパッタリングチャンバーを備え、様々な材料の成膜が可能； ・コーティング幅は300～1650 mmまでカスタマイズ可能； ・オンライン光学検査およびオンラインシート抵抗測定を統合； ・全自動ロール・ツー・ロール制御システムおよび位置合わせシステム。