自動可動システム

ウェーハ産業用

・ウェーハのロード／アンロードにはガントリー機構（またはウェーハのロード／アンロード用に導入された6軸ロボット）を採用し、カセットの取り扱いには6軸ロボットを採用。ウェーハのロード／アンロードを切り替えるためのデュアルワークステーションを備え、高いスループットと装置の安定性を確保。 ・コームやグリッパーなどの重要部品は、特殊な材料と加工技術を用いて製造されており、ウェハーに対するコーム・グリッパーによる損傷を大幅に低減します。また、特別に設計された構造により、単一のコーム・グリッパーの迅速な交換が可能です； ・モジュール化された制御プログラム構造を採用し、HMIはネットワーク通信を通じてPLCとの高速データやり取りを実現しており、装置の機能拡張やメンテナンスに便利です。ユーザーフレンドリーな人機インターフェースと、万全な検知・警報システムにより、装置の自動的かつ安定した稼働を保証します； ・MESシステムやAGVによるスマート生産ラインに対応しています。シート抵抗検出モジュールやその他の試験モジュールはオプションとして選択可能です。その他の機能については、お客様の要望に応じてカスタマイズが可能です。