自動可動システム

モジュラーウェーハ輸送用

・モジュール式設計を採用し、内部の類似構造には高度に標準化された部品を使用しているため、予備部品の管理が容易です。 ・タッチスクリーン＋PLC制御により、操作インターフェースはシンプルで分かりやすい設計となっています。 ・小型プロセスボートの搬送・処理ロジックを採用し、高いスループットを実現：8000個/時以上（182mmウェーハ）； ・最高権限レベルによる一時停止機能を搭載し、装置の安全冗長性を最大限に強化； ・業界標準の検出システム（オプション）に対応し、生産歩留まりを向上； ・AGVやRFIDシステムに対応しており、カセットおよびプロセスキャリアの自動スケジューリングと追跡を実現します。また、MESシステムとの連携により、工場レベルでのカセットおよびプロセスキャリアの管理・スケジューリングが可能です。