・CT:182mm、CT<1.0秒;210mm、CT<1.05秒。
・高速回転DDモーターを採用し、4つのペーパーリールテーブルを備えているため、ウェーハの搬入・搬出動作を迅速に完了でき、ターンテーブルの回転を250ms以内に実現します。
・スキージヘッドにはダイレクトドライブ型ボイスコイルモーター構造を採用し、リアルタイム加圧モードを実現することで、実際の加圧状態をモニタリング可能です。
・高精度カメラによるアライメント、独自の知的財産権を有するキネマティクス補正アルゴリズムにより、高精度なアライメントを実現します。
・自動ペースト供給、自動湿重量測定、オンライン印刷品質監視(AOI)により、ロス管理を実現(オプション)。
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