・CT:210mmハーフセル、CT<1.45秒;182mmハーフセル、CT<1.33秒。
・ 高速回転DDモーターを採用し、4つのペーパーリールテーブルを備えることで、ウェーハの搬入・搬出を迅速に完了でき、ターンテーブルの所要時間は200ms未満に抑えられます。
・スキージヘッドにはダイレクトドライブ型ボイスコイルモーター構造を採用し、リアルタイム加圧モードを実現することで、実際の加圧状態をモニタリング可能です。
・高精度カメラアライメントと、独自の知的財産権を有する運動学キャリブレーションアルゴリズムにより、高精度な位置合わせを実現。
・自動湿重量測定ユニットを搭載し、オプションでオンライン印刷品質監視(AOI)ユニットを追加可能。これにより、印刷品質を監視し、ロスの抑制を実現します。
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