MF5100 シリーズマスフローメータは、大きなダイナミックレンジ(200:1)と高精度(読み取り値の 1.5%)を実現するように設計されています。
1.5%の高精度を実現します。Siargo独自の
MEMSマスフローセンシング技術により、メーターは登録されたガスを自動的に認識し、リチウムイオンバッテリーで駆動するため長時間の運転が可能です。現行モデルは、複数のガス・プロセス制御や流量効率校正を伴うアプリケーションや、モバイル・パワーを必要とするアプリケーションに容易に適用できる。
MF5100は最大100SLPMの流量測定が可能です。コネクタはフルカスタマイズが可能です。
仕様
流量レンジ 0~30 (MF5106) / 0~50 (MF5108) / 0~100 (MF5110) SLPM
初期流量 0.01 / 0.01 / 0.02 SLPM
精度 ±1.5
繰り返し精度 0.25
応答時間 250 msec
長期安定性 2年
出力* LCD / デジタル:RS485 / パルス
定格圧力 1.0 MPa
バースト圧力 1.5 MPa
温度 -10 ~ 55 °C
湿度 <95 (結露なきこと) %RH
ピンアウト DB9
機械的接続 NPT - M 3/8 "
校正用空気 @ 20°C、101.325 kPa
重量 < 1.0 kg
保存温度 -20 ~ 70 °C
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