同時熱流量計 MF series

質量ガス用空気用

製品カテゴリ マスフロー計測製品：マスフローメーター MF3000 MF3000シリーズのマスフローメーターは、汎用的なガスの計測、処理、監視、および／または制御を目的として設計されています。本製品は、設置の柔軟性を高めるための高度な流量調整機能を備え、エネルギー効率を向上させる低圧力損失を実現しています。機械式コネクタの交換が容易になるよう設計されています。 標準コネクタ：2～200 SLPMモデルはBSPT 1/4インチ（オス）またはワンタッチコネクタ、500～1500モデルはBSPT 1/2インチ（メス）。その他、カスタマイズされたコネクタもご用意可能です。 MF4000 MF4000シリーズのマスフローメーターは、産業用ガスの汎用的な高精度な監視および制御を目的として設計されており、麻酔装置、内視鏡、プラズマがん治療システムなどの医療機器にも適用可能です。 広範囲な動的流量範囲、最大0.8 MPa（8 bar / 112 psi）の定格作動圧力、および-10～+55 °Cの温度補償範囲を備えています。 機械式コネクタの交換が容易な設計となっており、標準コネクタはワンタッチ式またはBSPT 1/4"です。その他、カスタマイズされたコネクタもご用意可能です。 MF4700 (MF/FS4700) MF/FS4700シリーズは、独自のMEMS熱量式質量流量検知技術とスマート制御電子回路を採用しています。センサー表面は窒化ケイ素セラミック材料でパッシベーション処理され、耐水・耐油性のナノコーティングが施されており、性能と信頼性が向上しています。メーター本体はアルミニウム合金またはステンレス鋼製で、ほとんどのガス用途に対応しています。 フルスケールは10 sccmまで、広範囲な動的流量範囲、最大1.0 MPaの定格使用圧力、-10～+55 °Cの温度範囲に対応しています。 MF5000 MF5000シリーズは、独自のMEMS質量流量検知技術と革新的な電子回路を採用し、極めて低い圧力損失で質量流量を直接測定します。対応する配管径、測定範囲、ガス種類の選択肢が拡大されています。 産業用ガスプロセス、制御、実験室、および危険区域（Ex ia IIC T4 Gb）向けの試験台に適用可能です。測定範囲は0.15～800 SLPMです。コネクタは完全にカスタマイズ可能です。 MF5100 MF5100シリーズは、流量計測および制御用途向けに、広範なダイナミックレンジ（200:1）と高精度（読み値の1.5%）を実現するように設計されています。独自のMEMS質量流量センシング技術を採用し、登録されたガスを自動的に認識し、リチウムイオンバッテリーで最大5年間動作可能です。 現行モデルは最大100 SLPMまで測定可能です。コネクタはカスタマイズ可能です。 MF5200 MF5200シリーズは、熱量測定と拡散率測定を組み合わせたThermal-D MEMS熱センシング技術を採用して設計されています。プラグアンドプレイ型のIoTアプリケーション向けに、さまざまなワイヤレスデータ通信オプションが用意されています。 代表的な用途には、病院用ガス（空気、酸素、窒素、二酸化炭素、アルゴン、亜酸化窒素）および産業用ガス処理が含まれます。ガスの質量流量に加え、ガス圧力およびガス温度の測定も可能です。 MF5600 MF5600シリーズは、遠隔/長距離でのデータ読み取りのために取り外し可能なメーターヘッドを必要とする、汎用的な流量計測および制御用途向けに設計されています。メーターは、圧力損失を最小限に抑えながら質量流量を直接測定します。病院での酸素供給管理、産業プロセスの監視および計測、溶接用ガス機器、食品・飲料プロセスなどに適用可能です。 最大800 SLPMまで測定可能です。コネクタはカスタマイズ可能です。 MF5700 MF5700シリーズは、IoTまたは有線データ通信オプション、およびバッテリー駆動オプションを備えた汎用流量測定・制御向けに設計されています。 独自のMEMS質量流量検知技術とスマートな電子回路を採用し、コストパフォーマンスに優れ、圧力損失を最小限に抑えます。ポータブル用途に適しています。最大500 SLPMまで測定可能です。機械式コネクタは完全にカスタマイズ可能です。 MF5900 MF5900シリーズは、独自のMEMS Thermal-Dセンシング技術と革新的な電子回路を採用し、低流量時でも非常に高い感度を維持しながら質量流量を測定します。これにより、ガス転送データを必要とせずにガスの選択的測定が可能です。各モデルはユーザーによるプログラム機能に対応しており、低流量の天然ガスやプロセス流量測定に適用可能です。 2インチの配管で最大5000 SLPMまで測定可能です。コネクタはカスタマイズ可能です。 特性／技術仕様

• 測定方式：各種産業用および医療用ガスの直接質量流量測定。
• センサー技術：MEMS熱量式質量流量センシング；Thermal-D MEMS（熱量測定＋拡散率）；独自開発のMEMSセンシング方式。
• 流量範囲：例として、フルスケールから10 sccmまで（MF4700）； 0.15～800 SLPM（MF5000）；最大100 SLPM（MF5100）；最大800 SLPM（MF5600）； 最大500 SLPM（MF5700）；2インチ配管使用時最大5000 SLPM（MF5900）。
• ダイナミックレンジおよび精度：MF5100の例として、ダイナミックレンジ200:1、読み取り精度1.5％。
• 定格圧力：最大 1.0 MPa（MF4700）、最大 0.8 MPa / 8 bar / 112 psi（MF4000）。
• 温度範囲の例：-10～+55 °C（MF4000、MF4700）。
• 材質およびコーティング：メーター本体のオプションとして、アルミニウム合金またはステンレス鋼（MF4700）； センサーの窒化ケイ素によるパッシベーションおよび耐水・耐油性ナノコーティングを施しています。
• コネクタ：標準オプションには、BSPT 1/4 インチ（オス）、BSPT 1/2 インチ（メス）、ワンタッチが含まれます。多くのシリーズでは、機械式コネクタを完全にカスタマイズ可能です。
• 特長：低圧力損失設計、遠隔読み取り用の着脱式メーターヘッド（MF5600）、 ワイヤレス／IoTデータ通信オプション（MF5200）、バッテリー駆動（MF5100：最大約5年）、危険区域対応（MF5000：Ex ia IIC T4 Gb 記載）。