回転式マグネトロン SC-Series

イオンスパッタ

当社の最大の内部実装エンドブロックであるSCは、最大4000mmまでのターゲットを扱うことができ、最大200kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 この設計により、エンドブロック内のガルバニック腐食の可能性が排除され、水漏れや短絡の原因となります。 スパッタリングコンポーネントのSCエンドブロックは、新しいコーターに取り付けることができ、他のロータリーエンドブロックや平面システムを簡単に置き換えることができます。 特徴 特許取得済みの電力供給技術 ユニークなターゲット 取り付け方法耐久性、長寿命のロータリーシール業界標準のフタへの取り付け 非独自のターゲット設計 特許取得済みのターゲット水充填 abd ドレイン マグネットバーは任意の角度で設定可能 利点 最高市場での信頼性 競争力のあるエンドブロックからの取り付けや改造が容易 最速のターゲット変更 1時間の年間メンテナンス; 3時間のトータルエンドブロック再構築 最低メンテナンスコスト あらゆるベンダーからのターゲットを使用 誘導加熱の影響のないハイパワー-ブラシダスト なしいいえガルバニック腐食